（中央社記者張建中新竹30日電）台積電攜手工研院推動極紫外光（EUV）製程餘氫資源化計畫，提升製程中殘餘氫氣的使用效益，創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統，今年進一步以150瓩進行混氫燃料電池開發設計，目標將EUV製程的餘氫100%轉化為電力。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，EUV製程需使用氫氣以維持光源的清潔與穩定，每台機台每分鐘的耗氫量超過400公升，使用後的氫氣進入真空泵後，因安全考量會與氮氣混合成約50%濃度的餘氫，通常需添加燃料或空氣燃燒轉化為無害氣體。

<詳全文：台積電善用EUV製程餘氫 攜手工研院研發混氫發電。>